旋片式真空泵泵内偏心安裝的轉子與定子固定面相切，兩個（或以上）旋片在轉子槽内滑動（通常爲徑向）并與定子内壁相接觸，将泵腔分爲幾個可變容積的一種旋轉變容積真空泵。旋片與泵腔之間的間隙由潤滑油密封。
抽吸介質截留在泵腔内，轉子旋轉腔室容積不斷減小，抽吸介質經過壓縮後排放。

先進的油霧分離器有效地分離潤滑油與抽吸介質，确保潤滑油的有效循環利用。